一、品牌與執(zhí)行標準
日本 ADVANTEC 愛德萬泰克前身是東洋濾紙株式會社,擁有百年生產制造底蘊,旗下 NW 全系列真空法蘭同步遵循日本 JIS B 2290 真空工業(yè)標準、國際 DIN 28403 以及 ISO2861 的 KF 通用規(guī)范,全部為日本原廠生產制造,長期作為日系半導體設備、真空鍍膜設備、高??蒲袃x器原廠預裝配套零件,產品尺寸公差管控嚴謹,能夠和市面所有合規(guī) NW/KF 規(guī)格配件通用互換,對比非標國產法蘭在密封性、尺寸一致性上優(yōu)勢明顯。
二、原材料選材與質量管控
全系常規(guī)現(xiàn)貨統(tǒng)一采用 SUS304 實心不銹鋼棒料加工,每批次原材料均可出具鋼廠原廠材質證書,原料嚴格把控碳、硫、磷等雜質含量,有效規(guī)避產品在高溫工況、潮濕環(huán)境產生晶間腐蝕;針對化工腐蝕、含氯離子水汽、有機溶劑揮發(fā)等嚴苛使用環(huán)境,原廠可定制 SUS316L 不銹鋼版本,材質內含鉬元素,抗點蝕、抗縫隙腐蝕性能更強,適配半導體濕法制程、化工真空蒸餾場景,同時也可按需選配鋁合金材質,滿足設備輕量化裝配需求。
三、精密加工工藝與表面處理
產品采用整根不銹鋼棒料一體數(shù)控車削成型,法蘭圓盤與頸部直管為無縫一體式結構,無拼接、無二次焊接,從根源杜絕焊縫微量漏氣問題;法蘭密封端面經(jīng)過精車加鏡面拋光處理,表面粗糙度控制在 Ra≤0.8μm,盤面平整無毛刺、砂眼、加工刀痕,保障密封圈貼合均勻嚴實;法蘭外側卡箍限位槽按照固定公差加工,邊角做圓弧過渡處理,卡箍鎖緊時不會劃傷密封圈,全規(guī)格卡位尺寸標準化,通用標準 NW/KF 卡箍;所有成品加工結束后依次經(jīng)過脫脂除油、純水超聲波清洗、高溫烘干處理,去除加工殘留油污與金屬碎屑,可滿足百級潔凈室、無油超高真空工況使用,不會析出揮發(fā)性雜質污染真空腔體,不銹鋼成品額外做鈍化處理,表層形成致密防護氧化膜,防潮防銹性能優(yōu)異。
四、全系列規(guī)格分類與選型指南
公稱通徑完整包含 NW6、NW10、NW16、NW25、NW40、NW50 六大主流規(guī)格,一一對應 KF6 至 KF50 國際標準,適配不同管路流量需求;產品依據(jù)脖頸長度分成短頸、中頸、長頸三類,短頸含 10L、20L 規(guī)格,脖頸尺寸短小,多用于設備腔體狹小內腔、箱體開孔內嵌安裝,節(jié)省設備內部空間;中頸包含 30L、40L,適配設備穿墻開孔、設備中段常規(guī)真空管路對接;長頸為 50L、80L、100L 加長款式,主要用于設備外側延長管路、外接真空軟管、真空泵進出口接駁。產品線除常規(guī)帶頸法蘭以外,還包含管路封堵使用的盲板法蘭,同時原廠支持非標頸長、非標內孔、電解超鏡面拋光、特種材質等定制加工。
五、安裝連接結構與操作流程
全系列統(tǒng)一為 NW 卡箍快裝結構,單處管路密封由兩只同規(guī)格法蘭、一只配套卡箍、一枚對應型號 O 型密封圈組合裝配,安裝時先清理兩片法蘭密封面,保證無灰塵、劃痕與油污,將密封圈放置在法蘭密封面中間,兩片法蘭對合后外部扣緊卡箍,適度鎖緊卡扣即可完成密封對接,全程不用現(xiàn)場焊接、不用打孔上螺栓,徒手就能拆裝,方便設備檢修、管路改造與腔體拆卸,單組配件拆裝耗時短,頻繁拆裝工況實用性極強。
六、配套密封圈選型指南
原廠配套三款主流密封膠圈適配不同使用環(huán)境,NBR 丁腈橡膠適用溫度 - 30℃至 120℃,性價比高,耐常溫空氣與常規(guī)惰性氣體,多用于普通實驗室常溫真空設備;FKM 氟橡膠使用區(qū)間 - 20℃至 200℃,耐各類礦物油與有機溶劑,適配帶溶劑揮發(fā)的半導體涂覆、蒸餾真空設備;FFKM 全氟醚橡膠耐受溫度 - 20℃至 260℃,耐強酸強堿與強腐蝕性氣體,適配等離子蝕刻、設備高溫烘烤除氣、生物醫(yī)藥無菌真空等高要求工況,不同規(guī)格法蘭搭配對應線徑密封圈,密封匹配度高。
七、產品性能參數(shù)與出廠檢測
所有規(guī)格產品出廠全部完成 100% 氦質譜檢漏,單品極限漏率≤1×10??Pa?m3/s,適用壓力從常壓一直延伸至 10??Pa 超高真空環(huán)境,安全承壓范圍從負壓真空至 0.6MPa 正壓;SUS304 常規(guī)款使用溫度區(qū)間 - 30℃~200℃,更換全氟醚密封圈后可實現(xiàn) 260℃高溫使用;SUS304 不銹鋼基材機械性能穩(wěn)定,抗拉強度、耐腐蝕指標達標,每批次產品附帶出廠檢測資料,材質報告、尺寸檢測、氣密性測試數(shù)據(jù)齊全,產品質量全程可追溯。
八、應用領域與行業(yè)案例
半導體微電子行業(yè)多用于等離子清洗設備、晶圓預處理腔體、微型濺射設備內部真空支管、PECVD 工藝氣路連接;科研院校配套真空管式爐、凍干小試設備、掃描電鏡、XPS 材料分析儀器等試驗腔體管路;光學鍍膜行業(yè)適配鏡片蒸鍍機、飾品真空鍍膜機的真空泵接駁管路;生化制藥領域用于小型真空干燥箱、離心濃縮機、凍干設備內部真空連接件;通用工業(yè)可搭配各類真空泵進出口、氣體配比管路、真空檢漏工裝、熱處理真空設備使用。
NW 真空卡箍法蘭全系列
NW(KF)真空短頸法蘭
NW10-10L
NW16-10L
NW25-10L
NW40-10L
NW50-10L
NW10-20L
NW16-20L
NW25-20L
NW25-20L-5S
NW40-20L
NW40-20L-5S
NW50-20L
NW50-20L-5S
NW63-20L
NW80-20L
NW80-20L-TK
NW100-20L
NW100-20L-TK
NW125-20L
NW160-20L
NW160-20L-TK
NW200-20L
NW250-20L
NW 真空法蘭全系列
NW (KF) 真空長頸法蘭(長焊邊法蘭)
NW10-50L
NW16-50L
NW25-50L
NW25-50L-5S
NW40-50L
NW40-50L-5S
NW50-50L
NW50-50L-5S
NW63-50L
NW10-70L
NW16-70L
NW25-70L
NW40-70L
NW(KF)快裝真空法蘭全系列
非標特殊款真空法蘭(變徑 / 異型臺階法蘭)
NW25/25A-20L
NW25/25A-30L
NW40/40A-20L
NW40/40A-30L
NW40/20A-20L
NW50/32A-20L
NW 真空盲板法蘭系列
NW(KF) 真空封堵盲法蘭
【左上表格:-00平盲板(小規(guī)格)】-00:全平端面盲法蘭,無內嵌臺階;-01:中間帶定位凸臺,卡緊密封圈,防止密封圈移位。
NW10-00
NW16-00
NW25-00
NW40-00
NW50-00
NW63-00
【左下表格:-00平盲板(大規(guī)格)】
NW80-00
NW100-00
NW125-00
NW160-00
NW200-00
【右下表格:-01臺階定位盲板】
NW10-01
NW16-01
NW25-01
NW40-01
NW50-01
NW 真空 RING 中心環(huán)系列
KF 法蘭中心支架環(huán)(中心環(huán) + 外擋環(huán)總成)
NW10-CR
NW16-CR
NW25-CR
NW40-CR
NW50-CR
NW63-CR
NW80-CR
NW100-CR
NW125-CR
NW160-CR
NW200-CR
NW250-CR
NW 真空 RING 密封環(huán)系列
預裝 O 型圈一體式中心環(huán)總成(內置膠圈款)
NW10/16-OZ
NW25-OZ
NW40-OZ
NW50-OZ
NW 真空 RING 密封環(huán)系列
CRM 帶過濾網(wǎng)一體式中心環(huán)總成
NW16-CRM
NW25-CRM
NW40-CRM
NW50-CRM
O-RING SERIES(O 型密封圈系列)
NW (KF) 真空法蘭專用 O 型橡膠密封圈
NW10-O
NW16-O
NW25-O
NW40-O
NW50-O
NW63-O
NW80-O
NW100-O
NW160-O
NW200-O
NW250-O
NW FIXED 真空連接配件系列
NW NIPPLE 雙端 KF 卡盤直通接頭(等徑快裝直管)
NW10-N
NW16-N
NW25-N
NW40-N
NW50-N
NW63-N
NW80-N
NW100-N
NW ELBOW真空彎頭系列
NW/KF 90° 直角快裝彎頭
NW10-E
NW16-E
NW25-E
NW40-E
NW50-E
NW63-E
NW80-E
NW100-E
NW FIXED 真空管路連接配件系列
NW TEES KF 等徑快裝三通(T 型三通)
NW10-T
NW16-T
NW25-T
NW40-T
NW50-T
NW63-T
NW80-T
NW100-T
NW FIXED(NW 真空管路連接件系列)
NW-T-S 快裝真空三通(特殊 NW TEE 卡盤三通)
NW10-T-S
NW16-T-S
NW25-T-S
NW40-T-S
NW50-T-S
NW CROSS 真空四通系列
KF/NW 快裝十字真空四通
NW10-X
NW16-X
NW25-X
NW40-X
NW50-X
NW63-X
NW80-X
NW100-X
NW FIXED(NW 真空管路連接件)
特殊 NW Y 型三通(SPECIFIC NW TEE)
NW10-T-S
NW16-T-S
NW25-T-S
NW40-T-S
NW50-T-S
SPECIFIC NW CROSS(NW 特殊四通,NW FIXED 管路配件系列)
異形快裝真空四通
NW10-X-S
NW16-X-S
NW25-X-S
NW40-X-S
NW50-X-S